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フラウンホーファーのLiDARシステム向けMEMSミラー、自動運転で目の役割を果たす! (2021年1月10日) - エキサイトニュース
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駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー – Nano/Micro System Lab./Kyoto Univ.
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ミラーが全体の80%占めるMEMSスキャナー、いろいろなものを小型にする!|ニュースイッチ by 日刊工業新聞社
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光スイッチ(MEMS,メカニカル)とは | ファイバーラボ株式会社
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マイクロミラーは空間計測にシフト、指の動きで文字入力 | 日経クロステック(xTECH)
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産業のマメ:MEMS(メムス)
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PowerPoint プレゼンテーション
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MEMS非接触温度センサの高感度化技術を開発 -広い空間で人のセンシングが可能-
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パイオニアの救世主となるか、MEMS方式LiDARが量産に近づく:自動運転技術(1/2 ページ) - MONOist
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圧電方式MEMSミラー |スタンレー電気株式会社 - Stanley Electric Components
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MEMSミラー | MEMSの活用 | MinebeaMitsumi MEMS Room
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光MEMS
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圧電方式MEMSミラー |スタンレー電気株式会社 - Stanley Electric Components
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車載ヘッドアップディスプレーや超小型プロジェクター用などに向け 超小型で高性能な電磁式駆動のMEMSミラーを開発【浜松ホトニクス】 | AEG  自動車技術者のための情報サイト Automotive Engineers' Guide
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自動運転レベル4の実用化へ期待される車載LiDAR用途向けMEMSミラーのサンプル出荷を開始 | プレスリリース | 沖縄タイムス+プラス
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2軸圧電方式MEMSミラー」スターターキットリリースのお知らせ | スタンレー電気株式会社
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6 章 微小光学素子
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船井電機が3Dバーチャル入力デバイスを開発、ピコプロジェクターを応用:オートモーティブワールド2013 - MONOist
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静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラーの開発 – Nano/Micro System Lab./Kyoto Univ.
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ECO SCAN – 日本信号株式会社
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圧電方式MEMSミラー |スタンレー電気株式会社 - Stanley Electric Components
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MEMSミラー方式「3D-LiDARセンサー」 の提供を開始|パイオニア株式会社のプレスリリース
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基調論文
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パイオニアの救世主となるか、MEMS方式LiDARが量産に近づく:自動運転技術(1/2 ページ) - MONOist
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動画 | MEMSミラー | 浜松ホトニクス
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MEMSミラー非線形振動解析の高速化:有限要素法マルチフィジックス解析ツール Ansys:サイバネット
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