JP5019741B2 - 半導体装置の製造方法および基板処理システム - Google Patents
JP5474840B2 - 液処理装置および液処理方法 - Google Patents
半導体のドライエッチング | 処理に用いるガス | ＣＨＦ３
半導体のドライエッチング | 装置の操作、制御方法 | 電極、試料台等の移動
JP5035345B2 - イオン注入装置、基板クランプ機構、及びイオン注入方法 - Google Patents
プラズマ処理機構・プラズマ発生機構 | 電極の形状、構造 | 電極の位置が可変のもの
プラズマ処理機構・プラズマ発生機構 | 電極の形状、構造 | 電極の位置が可変のもの
特許7254163 | 知財ポータル「IP Force」
JP2019169701A - Hybrid lift pin - Google Patents
リフトピン製作 ステンレス加工 | 製作実績 | 機械加工 野方電機工業 (金属加工・樹脂加工)
エアーシリンダ代替の推力10kgfの電動シリンダ（SCN5シリーズ）です。ベルトセラー電動シリンダです。
プラズマ処理機構・プラズマ発生機構 | 電極の形状、構造 | 電極の位置が可変のもの
プラズマ処理機構・プラズマ発生機構 | 電極の形状、構造 | 電極の位置が可変のもの
JP5019741B2 - 半導体装置の製造方法および基板処理システム - Google Patents
八光電機 電熱器総合カタログ 2022-23
半導体デバイス製造工程における回転霧化式 エアロゾルスプレーによる成膜装置の開発」 研
特許7254163 | 知財ポータル「IP Force」
熱処理方法および熱処理装置
プラズマ処理機構・プラズマ発生機構 | 電極の形状、構造 | 電極の位置が可変のもの
特殊目的 | ウエハ等の変形、反りへの対応 | ステージ等に固着時の平面度の向上
